偏心輪在泵腔內(nèi)作回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，使由滑環(huán)和滑桿分隔的兩個(gè)工作室容積作周期性變化以實(shí)現(xiàn)抽氣的真空泵。
滑閥真空泵主要由泵體、滑環(huán)、偏心輪、轉(zhuǎn)動(dòng)軸和滑桿組成。轉(zhuǎn)動(dòng)軸的軸心與泵腔中心重合。在滑環(huán)上固定的長方形滑桿，能在裝于泵體中的滑動(dòng)導(dǎo)軌中上下滑動(dòng)和左右擺動(dòng)。偏心輪連續(xù)不斷地旋轉(zhuǎn)，氣體便不斷地被吸入、壓縮和排出而達(dá)到連續(xù)抽氣的目的。在泵腔內(nèi)各相對(duì)運(yùn)動(dòng)件表面間有油膜密封，所以這種真空泵是一種油封式機(jī)械真空泵。滑閥真空泵極限壓力：單級(jí)泵為0.4帕，雙級(jí)泵為0.065帕；工作壓力范圍為1×105～13帕；抽速范圍為8～600升/秒（1升＝10-3米3）。
滑閥真空泵可單獨(dú)作用或作為真空機(jī)組的前級(jí)泵。如安裝氣鎮(zhèn)閥，可抽含有少量可凝性蒸汽的氣體。滑閥真空泵在真空冶煉、真空干燥、真空浸漬和真空蒸餾等方面都得到廣泛應(yīng)用。
